臭氧分析仪是利用了紫外线吸收法的原理，紫外线吸收法是现在在国际上流行的物理方法分析臭氧的方法。它是利用臭氧对254nm波长的紫外线特征吸收的特性，依据比尔-郎伯定律制造出的分析仪器，只要选择合适长度的吸收池，就可以检测0.002mg/m3至5%(vol)浓度的臭氧。其线形在4~5个数量级内都很好，该法已被我国作为环境空气中测定臭氧的标准方法(GB1/T1154348)。紫外线吸收法不但适用于检测气体中臭氧浓度，也可以检测水中溶解的臭氧浓度。
 

　　臭氧分析仪由紫外灯，光波过滤器，臭氧吸收池，参考光电传感器，信号光电传感器，输出显示，电路部件等构成。稳定的紫外灯光源产生紫外线，当气体样品以恒定的流速进入仪器的气路系统，用光波过滤器过滤掉其它波长紫外光(臭氧对253.7nm波长的紫外光有特征吸收)，只允许波长253.7nm通过。经过样品光电传感器，样品空气交替地或直接进入吸收池或经过臭氧涤去器再进入吸收池，到达采样光电传感器，通过吸收池时被光传感器检测的光强度为I0，臭氧样品通过吸收池时被光检测器检测的光强度为I，I/I0为透光率。每经过一个循环周期样品光电传感器和采样光电传感器电信号比较，仪器的微处理系统根据朗伯—比耳定律计算，可得出臭氧浓度。
 

　　臭氧分析仪轻便易携，用途广泛，稳定性好。既可以实现0-300ppm量程的高浓度工业过程分析，又可以实现0-500ppb量程的低浓度大气环境分析。精度和准确度经由中国台湾工研院验证，可提供NIST溯源校准报告。